Automaattinen lämpötilan ja kosteuden säätö
Puhdashuoneen lämpötila ja kosteus määräytyvät pääosin prosessivaatimusten mukaan, mutta jos prosessivaatimukset täyttyvät, ihmisen mukavuus tulee ottaa huomioon.Ilman puhtausvaatimusten kasvaessa on trendi, että prosessille asetetaan yhä tiukemmat lämpötila- ja kosteusvaatimukset.
Koneistustarkkuuden tarkentuessa, lämpötilan vaihtelualueen vaatimukset pienenevät ja pienenevät.Esimerkiksi suuren mittakaavan integroidun piirituotannon litografiavalotusprosessissa lasin ja piikiekon lämpölaajenemiskertoimen eron kalvon materiaalina edellytetään olevan yhä pienempi.Piikiekko, jonka halkaisija on 100 μm, aiheuttaa 0,24 μm lineaarisen laajenemisen, kun lämpötila nousee 1 asteen.Siksi sen lämpötilan on oltava vakio ±0,1 astetta.Samanaikaisesti kosteusarvon vaaditaan yleensä olevan alhainen, koska henkilön hikoilun jälkeen tuote saastuu, erityisesti Natriumia pelkääville puolijohdepajoille tällainen puhdas työpaja ei saa ylittää 25 astetta.
Liiallinen kosteus aiheuttaa lisää ongelmia.Kun suhteellinen kosteus ylittää 55 %, jäähdytysvesiputken seinämään muodostuu kondensaatiota.Jos se tapahtuu tarkkuuslaitteessa tai piirissä, se aiheuttaa erilaisia onnettomuuksia.Se ruostuu helposti, kun suhteellinen kosteus on 50 %.Lisäksi, kun kosteus on liian korkea, piikiekon pinnalla oleva pöly adsorboituu kemiallisesti ilmassa olevien vesimolekyylien toimesta pinnalle, jota on vaikea poistaa.Mitä korkeampi suhteellinen kosteus on, sitä vaikeampaa on tarttuman poistaminen, mutta kun suhteellinen kosteus on alle 30 %, hiukkaset adsorboituvat helposti pintaan sähköstaattisen voiman ja suuren puolijohteen vaikutuksesta. laitteet ovat alttiita rikkoutumaan.Paras lämpötila-alue piikiekkojen valmistukseen on 35–45 %.
